Avec le développement des ordinateurs, de la microélectronique et des technologies de l'information, le développement rapide de l'industrie de la fabrication électronique a été favorisé, et celui de la technologie des salles propres l'a été également. En même temps, des exigences plus élevées sont formulées pour la conception des salles propres.

La conception des salles propres dans l'industrie de la fabrication électronique est une technologie globale. Ce n'est qu'en comprenant pleinement les caractéristiques de conception des ateliers sans poussière de l'industrie de la fabrication électronique et en réalisant une conception raisonnable qu'il est possible de réduire le taux de défauts des produits de cette industrie et d'améliorer l'efficacité de la production.

Caractéristiques de la salle propre pour l'électronique

Le niveau de propreté requis est élevé. Le volume d'air, la température, l'humidité, la différence de pression et l'évacuation des équipements sont contrôlés à la demande. L'éclairement et la vitesse du vent dans la section de la salle propre sont contrôlés selon la conception ou les spécifications. De plus, ce type de salle propre a des exigences extrêmement strictes en matière d'électricité statique. Parmi celles-ci, les exigences relatives à l'humidité sont particulièrement sévères, car l'électricité statique est facilement générée dans une usine trop sèche, ce qui peut endommager l'intégration CMOS.

1. De manière générale, la température de la salle propre pour l'électronique doit être contrôlée à environ 22℃, et l'humidité relative doit être maintenue entre 50-60% (les ateliers propres spéciaux disposent de réglementations pertinentes en matière de température et d'humidité). À ce stade, l'électricité statique peut être efficacement éliminée et les personnes se sentent à l'aise.

2. Les salles propres pour puces, les salles propres pour circuits intégrés et les ateliers de fabrication de disques sont des éléments importants des salles propres dans l'industrie de la fabrication électronique. Étant donné que les produits électroniques ont des exigences extrêmement strictes concernant l'environnement et la qualité de l'air intérieur pendant le processus de fabrication et de production, les principaux objets de contrôle sont les particules et la poussière en suspension. Parallèlement, des réglementations strictes ont été établies concernant la température et l'humidité de l'environnement, le débit d'air frais et le bruit.

3. Le niveau sonore (à l'état vide) dans la 10,000-classe de salle propre d'une usine de fabrication électronique : ne doit pas dépasser 65 dB(A).

4. Le taux de remplissage de la salle propre à flux vertical de l'usine de fabrication électronique ne doit pas être inférieur à 60%, et celui de la salle propre à flux unidirectionnel horizontal ne doit pas être inférieur à 40%, sinon il s'agira d'un flux unidirectionnel partiel.

5. La différence de pression statique entre la salle propre et l'extérieur de l'usine de fabrication électronique ne doit pas être inférieure à 10 Pa, et la différence de pression statique entre la zone propre et la zone non propre ayant des niveaux de propreté de l'air différents ne doit pas être inférieure à 5 Pa.